CKD bietet für die Anwendungen in der Halbleiter- und LCD-Industrie eine Vielzahl von Prozessgasventilen an, die auch auf komplexen Gaszuliefersystemen verbaut werden. Die luftbetätigten Ventile der Baureihe AGD0 werden für Edel- und Prozessgase eingesetzt. Der Betriebsdruck liegt bei 4 bis 6 bar. Die Ventile sind als NC und NO mit Arbeitsdrücken von 1,3 x 10-6 bis 10 bar und Druckanschlüssen M5 und 1/8" erhältlich. Die Ventile sind für Temperaturen von 10 bis max. 80 °C einsetzbar. Die Membrane besteht aus einer hochresistenten und langlebigen Nickel-Cobalt-Legierung und die mediumberührenden Oberflächen des Ventils sind elektropoliert, um den hohen Anforderungen hinsichtlich Leckage zu genügen. Die Ventile sind gemäss Kundenwunsch als Blockventil, Winkelventil oder Mengenteilerventil erhältlich. Die verfügbaren Optionen reichen von Durchflusskontrolle, visueller Anzeige, Temperaturanzeige bis zu Nährungsschaltern oder Offen/zu-Sensoren.
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Platzsparende, flexible Prozessgasventile
