Mit dem modularen Poly-Power-Unit-System lässt sich die Stromversorgung für jeden Siemens-CVD-Reaktor je nach Anzahl der Silizium-Stabpaare passgenau auslegen und schnell per Software parametrieren. Die Konstruktion ohne starre Schrankkonstruktion reduziert den Platzbedarf und vereinfacht die Wartung der Komponenten. Bei der von Siemens entwickelten Lösung ist der Leistungssteller zudem in das Leitsystem Simatic PCS 7 eingebunden. Damit wird der Einsatz von Energy-Management-Funktionen, Advanced-Process-Control-Algorithmen sowie eines temperaturgeführten Regelkreises des Energieträgers möglich.
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Leistungssteller für Siliziumherstellung
