Eine Publikation der Swissprofessionalmedia AG
Ausgabe 05/2014, 13.05.2014

Hochpräzise Geradheitsmessungen

Mit dem Profilmessgerät FL-800 beschreitet die Kunz precision AG einen innovativen Weg zum hochgenauen Messen von Geradheiten. Die Neuentwicklung ist in den Qualitätssicherungsprozess der Wafer-Fertigung eingebettet. Die Vorzüge des Systems bieten dem Anwender unbestrittene Wettbewerbsvorteile. Kernelement des Gerätes ist der von Kunz entwickelte Vakuum-luftgelagerte Messschlitten. Dieses Prinzip gewährleistet Luftlagerstabilitäten von wenigen Nanometern. Eine raffinierte Führungsauslegung und der entkoppelte motorisierte Antrieb ermöglichen die hohen Genauigkeiten. Die eigens entwickelte Software T-soft-FL steuert die Messungen. Danach erfolgen automatisch die Auswertungen, die auch graphisch dargestellt werden können. Optional kann der Bediener die Genauigkeit des Gerätes jederzeit mittels spezieller Kalibriervorrichtung überprüfen und verifizieren.
Kunz precision AG, Riedtalstrasse 16, 4800 Zofingen
Tel. 062 746 00 20, mailbox@kunz-precision.ch, www.kunz-precision.ch